表面界面物理课程是电子材料与元器件专业的研究生课程，也可供高年级本科生作为选修课。不书由表面分析概述、表界面的原子结构、表面界面的电子过程和表界面现象等四章组成。书中叙述了目前常用的表面分析方法的原理和特点；介绍了表面的原子排列，表面的组成，晶界和交界面的原子组态和性质，表面界面的电子态，电子的输送、复合等理论；对于与电子材料和元器件关系密切的吸附、偏析、表面扩散和氧化等表面界面现象也作了较为深入的讨论。